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仕様:
機種: 日本FEI Quanta400
電子銃: タングステン熱電子銃 二次電子分解能 : 1.0~1.4nm(30kV) 倍率: 13 ~ 1,000,000倍 加速電圧: 0.2 ~ 30kV 試料ステージ: 50mm X 50mm X 25mmH 真空度: 高真空モード … < 6 × 10 -4 Pa 低真空モード … 13 ~ 133 Pa 観察像: 二次電子像,後方散乱電子像 元素分析: エネルギー分散型分析装置 (EDX) 検出範囲: B ~ U 分析方法: 定性分析,定量分析,面分析,多点分析
設備点検中
構成:
本体:Qunta400
二次電子検出器 反射電子検出器 バリスィク・サブステ-ジ サポ-トコンピュ-タ(WindowsXP.英語版) Forensicパッケ-ジ GSR-XT NS GSR-XTソフトウェア EDX GSRハ-ドウェア GENESIS2000システム及びSUT検出器
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